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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品,而努力

Work hard to make your product

外延生長·摻雜
  • 金屬有機物化學氣相沉積
    GaN,GaAs
  • 化學氣相沉積
    SIC
  • 離子注入
    B,P,F(xiàn),Al,N,Ar,H,He,Si
  • 高溫氧化
    1150℃
  • 高溫擴散/退火
    900℃-1100℃
  • 快速退火
    150℃-1000℃

案例展示


                                                    

                                         Diamond-coated wafers                                                                                      晶圓圓片長膜、圖形化



金屬氣密封裝的優(yōu)勢與不足詳解
金屬氣密封裝的優(yōu)勢與不足詳解

2025-06-02

在芯片封裝領域,當我們在討論7nm制程、Chiplet架構時,很少有人注意到這個看似"古老"的封裝技術仍在軍用航天、汽車電子等領域發(fā)揮著不可替代的作用...

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為什么深硅刻蝕中C4F8能起到鈍化作用?
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2024-11-27

RIE是一種結合了物理濺射和化學反應雙重機制的刻蝕技術。在等離子體中,離子和中性自由基共同作用于材料表面。其中,自由基的密度遠高于離子,它們通...

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【半導體材料】電子封裝材料有哪些?
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2024-11-29

電子封裝材料作為連接芯片與外部世界的橋梁,其重要性不言而喻。合格的封裝不僅能夠為芯片提供物理保護,實現(xiàn)標準規(guī)格化的互連,更是確保電子產(chǎn)品性能...

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【MEMS工藝】三種常見CVD技術,你知道的有哪些?
【MEMS工藝】三種常見CVD技術,你知道的有哪些?

2024-11-04

本文將詳細介紹目前三種常見的CVD技術——低壓化學氣相沉積(LPCVD)、等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)以及高密度等離子體化學氣相沉...

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