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傳統(tǒng)集成電路代工和mems代工模式的差異
點擊量：2476 日期：2020-07-14 編輯：硅時代
正常來講集成電路代工和MEMS代工是兩類不同的代工模式；
集成電路代工是制作各類集成電路產(chǎn)品的代工，關(guān)注的是電學性能，對環(huán)境的各類壓力，流量，磁場等物理參數(shù)不關(guān)注；而MEMS代工是制作尺寸在微米級的微型傳感器的制造方法，器件重點關(guān)注的就是環(huán)境的各類壓力，流量，磁場等物理參數(shù)的反饋；
到了運用端，之前根據(jù)各類運用場景的需要，是在同一主板或封裝體進行各類集成電路產(chǎn)品和MEMS產(chǎn)品的組合運用，隨著技術(shù)的發(fā)展和運用端的要求，業(yè)界需求同一芯片同時具備集成電路和MEMS產(chǎn)品的功能以降低成本和拓展運用，這樣就需要將集成電路代工和MEMS代工集成到一起，同時實現(xiàn)兩種類型的功能。
集成電路mems代工通過優(yōu)化工藝，實現(xiàn)集成電路和MEMS的有效集成，通常有兩種路徑；一種是在集成電路工藝后端增加MEMS工藝來實現(xiàn)；第二種則是在兩片襯底分別進行集成電路和MEMS的加工，最后通過晶圓及鍵合的方式，實現(xiàn)集成電路和MEMS有效集成。
