微特云辦公系統(tǒng)
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2021-12-25
MEMS設計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結構的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
2021-12-11
mems傳感器要處于最佳工作狀態(tài)，需要通過各種軟件對測量過程進行管理和調(diào)節(jié)，并對數(shù)據(jù)進行各種處理，進而增加傳感器功能，提高其性能指標。高質(zhì)...
2021-12-03
聚焦離子束（FIB）技術是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應用于半導體集成電路修改、切割...
2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達到0.7um）等優(yōu)勢，...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結構加工技術都可稱之為MEMS工藝制造，其在半導體和微電子工藝基礎上發(fā)展而來，以光刻，鍍...
