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News
2023-10-13
（一）裝片：1，在Pump 界面點擊左邊Pump 圖標下Stop，切換至Vent ，120s 后打開 Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據(jù)片子尺寸大小，在托盤上涂抹...
2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸發(fā)技術制備半導體薄膜材料發(fā)展而來的。隨著超高真空技術的發(fā)展而日趨完善，由于分子束外延技術的發(fā)展開拓了一系列嶄新的超...
2023-10-07
當離子轟擊進入硅襯底后，與晶格原子碰撞將逐漸失去能量，最后停留在硅襯底內。有兩種阻滯機制，一種是注入的離子與晶格原子的原子核發(fā)生碰撞，經(jīng)過這...
