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  • MEMS技術(shù)的研究現(xiàn)狀
    MEMS技術(shù)的研究現(xiàn)狀

    2020-02-21

    我國MEMS的研究始于二十世紀(jì)八十年代末。經(jīng)過十多年的發(fā)展,我國在多種微型傳感器、微型執(zhí)行器和若干微系統(tǒng)樣機(jī)等方面已有一定的基礎(chǔ)和技術(shù)儲(chǔ)備,...

  • MEMS加工技術(shù)有關(guān)的工藝
    MEMS加工技術(shù)有關(guān)的工藝

    2020-02-21

    傳統(tǒng)的制造業(yè)依賴大量的關(guān)鍵機(jī)械設(shè)備和有關(guān)的工藝,這些設(shè)備和工藝已有幾十年甚至上百年的歷史了。例如鑄造、鍛造、車削、磨削、鉆孔和電鍍等均是一個(gè)...

  • 硅基微機(jī)械加工技術(shù)
    硅基微機(jī)械加工技術(shù)

    2020-02-21

    目前正在使用的硅基微機(jī)械加工技術(shù)有三種:體硅體微機(jī)械加工、表面微機(jī)械加工 、復(fù)合微機(jī)械加工。 1.1體硅微機(jī)械加工  這種加工是將整塊材料,如...

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